新型LUPHOScan 75 HD三維非接觸微小鏡片自動(dòng)測量系統(tǒng)
泰勒·霍普森公司（TAYLOR HOBSON）在近期全新推出一款高速、精密的三維非接觸式微小鏡片自動(dòng)測量系統(tǒng)LUPHOScan 75 HD，實(shí)現(xiàn)了非接觸3D形貌測量的全自動(dòng)化，可在120秒內(nèi)完成調(diào)整、測量和分析。
LUPHOScan 75 HD具有更短的完整測量周期，為大批量生產(chǎn)帶來實(shí)驗(yàn)室級(jí)的精度。只需單擊一下即可獲得始終如一的準(zhǔn)確結(jié)果。任何級(jí)別的操作員都可以獲得快速、高精度的測量結(jié)果。
· 自動(dòng)對(duì)準(zhǔn)光學(xué)工件
· 使用FPP（Focal Point Pivot）技術(shù)實(shí)現(xiàn)更短的測量周期
· 高重復(fù)精度:≤30 nm PV
· 優(yōu)異的穩(wěn)定性: Power變化<±15 nm , PV變化<±1.5 nm
· 幾何特征分析:如與光學(xué)表面相關(guān)的定位坎合面和邊緣直徑
#測量原理
在測量過程中，傳感器在整個(gè)被測物體的表面進(jìn)行螺旋式掃描，并生成高密度的三維數(shù)據(jù)。
工件在氣浮旋轉(zhuǎn)平臺(tái)上旋轉(zhuǎn)，傳感器在移動(dòng)軸上沿工件徑向理論曲線移動(dòng)從而完成掃描。
旋轉(zhuǎn)平臺(tái)使傳感器與物體表面保持垂直，移動(dòng)軸的布局提供了很高的靈活性，能從容應(yīng)對(duì)非常規(guī)的表面形狀(包括陡峭的坡度或帶有拐點(diǎn)的輪廓)。
▲LUPHOScan掃描傳感器的運(yùn)動(dòng)
#自動(dòng)調(diào)心調(diào)平
新型LUPHOScan 75 HD增加了全新的自動(dòng)調(diào)心調(diào)平臺(tái)，讓儀器真正實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化。
· 消除對(duì)操作員技能的依賴
· 通過自動(dòng)可重復(fù)的調(diào)心和調(diào)平實(shí)現(xiàn)測量一致性
· 以更短的設(shè)置時(shí)間提高產(chǎn)能
· “一鍵”對(duì)準(zhǔn)、測量和分析
#快速而簡便的工件設(shè)置
只需單擊一下，自動(dòng)調(diào)心和調(diào)平就可以：
· 評(píng)估工件的偏心和傾斜狀態(tài)
· 將工件傾斜調(diào)整至< 5′′
· 將工件中心降至1μm偏心度
#為未來做好準(zhǔn)備
LUPHOScan 75 HD面向未來，可實(shí)現(xiàn)完全自動(dòng)化集成：
· 腳本功能，便于人機(jī)對(duì)話
· OP-UA兼容性
· 優(yōu)化流程，降本增效
#使用FPP (Focal Point Pivot)技術(shù)縮短測量時(shí)間
測量周期時(shí)間*多可縮短65%,且無精度損失!
· 傳感器焦點(diǎn)與軸心點(diǎn)對(duì)齊
· ΔZ和 ΔR小 傳感器旋轉(zhuǎn)大
· ΔZ和 ΔR小 → 測量速度更快
▲大圓弧鏡設(shè)計(jì)有助于縮短測量周期時(shí)間
