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ZYGO新品_VFA+干涉儀來啦,全新的計量方案了解一下

日期:2025-12-31 20:32
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摘要:*快速的非球面自由曲面測量解決方案

新品發布

__*快速的非球面自由曲面測量解決方案

ZYGO于2021年10月18日在美國羅徹斯特國際光學產品技術展 (SPIE Optifab)中,推出了其全新一代的Verifire Asphere+非球面激光干涉儀(簡稱VFA+),并展示了*新的計量技術方案。

 

*新的VFA+長這樣

VFA+建立在上一代Verfire Aphere非球面干涉儀成功的基礎之上,基于拼接技術,使用標準球面標準鏡及干涉儀主機,就可以快速、非接觸、高分辨率地測量出軸向對稱的非球面表面形貌。

 

VFA+具備非球面測試能力的同時,也是一個高精度曲率半徑測試平臺。其專業的設計,能非常有效地隔絕環境震動和氣流擾動的影響,使其光學器件曲率半徑的測試重復性達到百納米的級別。

 

VAF+能完全覆蓋一臺高精度和穩定的立式球面/平面激光干涉儀,基于其六個維度(X平移、Y平移、傾斜、俯仰、高低、旋轉)全自動調整的樣品臺,用戶可以自主完成全自動化的測試腳本程序。

 

除了擁有以上這些上一代Verfire Aphere已有的特點和優勢之外,新的VFA+更新了強大的Mx軟件(??點擊“Mx軟件”了解更多詳情),采用了更穩定可靠的測量倉設計,更重要的是:

 

VAF+可以高速批量檢測,包括自由曲面在內的非球面光學器件。

 

VFA+圖示??

 

ZYGO的VFA+集成了一個可選的工作臺,用于放置轉換波前的全息板 (CGH)(??點擊“全息板(CGH)”了解更多詳情)。基于CGH,VFA+可以測試包括自由曲面在內的各類非球面,包括樣品校準在內的測樣過程,單次在十幾秒內,就可以測得非球面3D相貌(百萬像素級數據密度),可以適用于各類自由曲面、圓柱及離軸圓錐曲面。

 

這一全新的技術方案,將打開大規模批量柔性光學制造技術的大門。從此,非球面光學加工質量控制將變得更容易執行,且更具有成本效益。

 

 

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上海浦量元精密機電有限公司

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