大樣品臺 白光輪廓儀 Nexview? LS650

 Nexview?LS650 大樣品臺白光干涉儀非常適合測量 尺寸大，重量大 的樣品，例如注塑透鏡的模具、大尺寸線路板、光學器件，以及機械零件等等。

LS650樣品臺尺寸及平移范圍，可達 650mm*650mm ， 可以在這一范圍內實現拼接及腳本編程自動測量，具有亞納米級垂直分辨率。

 各種白光輪廓儀表面紋理測試，常常需要量測尺寸大，重量大的樣品，例如：

·             大尺寸的電子線路板；

·             注塑透鏡的模具（如上圖）；

·             高能激光應用中，大尺寸超光滑光學器件；

·             需要測試關鍵面的大尺寸機械零件；

·             有時被測樣品需要特殊夾持機構，需要占用的空間大，負重要求高，也需要高負重，大尺寸樣品臺的解決方案。

 Nexview?LS650 系統基于ZYGO Nexview?NX2 測試頭，繼承了其高精度，高分辨率，良好環境適應性的優點。

LS650縱向分辨率優于0.1nm 埃級別，可以用于超光滑表面測量；LS650同樣也具有抗振掃描 SureScan?技術，可以良好適應生產環境的振動影響。

Nexview?LS650 采用龍門結構，配置650mm*650mm平移范圍的自動樣品臺；*大負重可達100KG，能良好適應大樣品及附屬夾具的尺寸，空間，和重量要求。