立式配置 激光干涉儀應(yīng)用

-立式和臥式配置 有什么不同？

-立式配置 有什么優(yōu)勢(shì)？

-何時(shí)該選擇 何種立式配置？

以水平臥式的方式，放置樣品，是菲索式激光干涉儀*常見(jiàn)的配置。如上圖，整個(gè)干涉腔，包括干涉儀主機(jī)，測(cè)試樣品及參考鏡，相關(guān)夾具，都放置在抗振平臺(tái)臺(tái)面上。

這樣的配置，*大的優(yōu)勢(shì)在于對(duì)不同應(yīng)用的適應(yīng)性。在臥式配置下，無(wú)論是平面還是球面樣品；表面或者透射波前的測(cè)量，都可以很快切換，除了平臺(tái)尺寸之外，幾乎沒(méi)有限制。

在某些應(yīng)用場(chǎng)合，基于測(cè)試效率，樣品夾持，測(cè)試方式或精度的要求，立式配置會(huì)更有優(yōu)勢(shì)。

·        工業(yè)現(xiàn)場(chǎng)測(cè)試環(huán)境下，立式配置下，樣品的夾持放置，更有效率，更加穩(wěn)定。

·        對(duì)于很多超高精度測(cè)量，要求樣品表面保持和工作狀態(tài)一致的條件下測(cè)量。

·        立式配置對(duì)于某些特殊應(yīng)用的特殊優(yōu)勢(shì)，比如高精度曲率半徑測(cè)量，大口徑平面樣品的拼接測(cè)量。

·                    激光干涉儀在立式配置下，樣品的放置，夾持和調(diào)整更方便，提高了測(cè)試效率。

·                    立式架構(gòu)整機(jī)占地更小；整個(gè)干涉腔，處于穩(wěn)定的框架結(jié)構(gòu)下，這樣對(duì)抗振要求更低，可省去昂貴和龐大的抗震平臺(tái)。

這些優(yōu)勢(shì)，都非常適合在工業(yè)現(xiàn)場(chǎng)，有限的空間里，高效測(cè)量的要求。平面樣品測(cè)量對(duì)腔長(zhǎng)沒(méi)有要求，更適合于立式配置；如上圖左ZYGO平面立式系統(tǒng)，緊湊的結(jié)構(gòu)，很小的占地空間，可以以桌上系統(tǒng)的方式，高效測(cè)量。

球面樣品測(cè)試對(duì)腔長(zhǎng)有要求，需要基于不同樣品調(diào)整。上圖中為ZYGO老型號(hào)的球面立式下視系統(tǒng)，這一配置下干涉儀主機(jī)在上，重心提高，對(duì)于抗振控制提出較高要求。

新的ZYGO立式球面測(cè)量系統(tǒng)VTS，如上圖右，采用上視配置，其重心位置更合理，抗振效果更好；同時(shí)上視系統(tǒng)夾具對(duì)球面樣品，復(fù)位性更好。

須注意立式球面與臥式配置相比，其適用性比較差，比如測(cè)長(zhǎng)曲率半徑，大口徑凹面樣品等等時(shí)候，立式配置有局限性。立式球面配置，適合于工業(yè)定型產(chǎn)品，現(xiàn)場(chǎng)大批量高效測(cè)量。

·                    很多超高精度的球面透鏡，其工作狀態(tài)為立式，需要在其工作狀態(tài)下測(cè)試；

·                    在立式架構(gòu)下，球面樣品的支撐及夾具，對(duì)樣品形貌造成的影響更小；

·                    基于立式的導(dǎo)軌平臺(tái)，更適合于高精度的曲率半徑測(cè)量；

超高精度的球面干涉儀，無(wú)論是測(cè)量表面形貌，還是曲率半徑，常采用立式配置。如上圖左 ZYGO 300mm立式球面激光干涉儀 VWS

·        保持和工作狀態(tài)一致，也是很多大口徑平面樣品，采用立式配置檢測(cè)的原因；

·        平面樣品更適合于采用拼接技術(shù)，以突破干涉儀本身口徑，測(cè)試更大區(qū)域。相對(duì)于臥式系統(tǒng)，立式配置更適合于拼接測(cè)量。如上圖右，ZYGO 600mm+，平面拼接激光干涉儀，就采用了立式配置。