哪款“白光輪廓儀”適合您？
ZYGO 3D 白光干涉輪廓儀，能夠以優于納米級的分辨率，非接觸測量樣品表面形貌。白光輪廓儀廣泛應用于光學，半導體，材料，精密機械等等領域，用于表面形貌紋理，微觀結構分析。
ZYGO 有三個型號標準白光干涉輪廓儀，Zegage，NewView，Nexview，它們設計理念各有不同，配合各類附件，能良好滿足各種場景，各類環境下的不同應用需求。
ZYGO 白光輪廓儀的共有特點和優勢：
· ZYGO SureScan?大幅減小了環境振動的影響；還可以降低高精度量測時的噪聲，提高超光滑表面的測試精度。
· ZYGO SmartSetup?，自動對焦樣品表面，自動智能配置測試參數，使原來麻煩的“找條紋”， “選擇測試參數”過程，在一分鐘之內，自動完成
· ZYGO全系列白光輪廓儀，都包括自動防撞功能，”心細如發“，“一觸即止”，能*大程度保護樣品和設備的**。
基于以上ZYGO共有的功能，每一款白光輪廓儀又有什么自己的特點呢？今日小Z就和各位親聊聊：
如何選擇ZYGO白光輪廓儀
ZeGage?系列
1.6K*1.2K像素，1X光學縮放，
SureScan?采樣；
可選手動調整，或3軸（Z，XY平移）自動調整樣品臺；
表面形貌重復性(STR);
ZeGage?Pro 3.5nm
ZeGage?Pro HR 0.15nm
ZeGage?桌面型光學輪廓儀,結構緊湊，穩定可靠。它采用一體化結構設計，配合ZYGO SureScan?抗振采樣模式，可以無需氣浮抗振臺，直接置于桌面，在生產環境中量測。
· ZeGage? 系列有兩種型號，都具有較高性價比。ZeGage?Pro表面形貌重復性(STR) 3.5nm，適用于精密機械，材料學，摩擦磨損等納米級測量；ZeGage?Pro HR表面形貌重復性(STR) 0.15nm，可以量測亞納米級超光滑表面。
· ZeGage?可選增高架構，用于測量更大尺寸的樣品；還可以選用3軸（Z，Tip/Tilt傾斜俯仰）自動調整樣品臺，具有拼接測量及一定編程自動化測量的能力。
Newview?9000
1.6K*1.2K，0.5X,1X, 2X 目鏡；
CSI, SureScan?, SmartPSI采樣；
可選手動調整，或5軸（Z，XY平移，Tip/Tilt傾斜俯仰）自動調整樣品臺；
手動孔徑光闌，及視場光闌；
Newview 表面形貌重復性(STR) 0.08nm
Newview?9000是ZYGO應用*廣的高性能光學輪廓儀，配合豐富的配置及附件，滿足多樣化應用需求。
· Newview?9000 150um范圍使用壓電陶瓷閉環掃描，表面形貌重復性(STR) 0.08nm，可以滿足苛刻的超光滑表面測試需要。
· Newview?9000光學系統包括孔徑光闌，及視場光闌；可優化光學成像質量，適用于不同樣品表面紋理和微結構。
· Newview?9000采用分立龍門架構，可以通過標準墊塊附件，抬高測試頭，來測試超大超高樣品。
· Newview?9000可選5維全自動樣品臺，配合ZYGO腳本編程工具，自主開發工業自動化測試流程。
Nexview? NX2
1.6K*1.2K，0.5X,1X, 2X目鏡；
CSI, SureScan?, SmartPSI采樣；
標配5軸（Z，XY平移，Tip/Tilt傾斜俯仰）自動調整樣品臺；
全自動孔徑光闌，及視場光闌調整；
Nexview? NX2 表面形貌重復性(STR) 0.06nm
Ture Color樣品表面彩色3D形貌測量
Nexview? NX2是ZYGO光學輪廓儀系列中，測試精度*高，功能*全，整機完全自動化的型號；NX2專為*挑戰應用設計制造。
· Nexview? NX2 150um范圍使用壓電陶瓷閉環掃面，表面形貌重復性(STR) 0.06nm，是ZYGO光學性能，噪聲系數*優的型號，可以滿足*苛刻的埃級超光滑表面測試需要。
· Nexview? NX2覆蓋了其它ZYGO白光輪廓儀的所有功能；此外還獨有Ture Color樣品表面彩色3D形貌測量能力。
· Nexview? NX2同樣采用分立龍門架構，可以通過標準墊塊附件，抬高測試頭來測試超高樣品。
· Nexview? NX2實現了整機完全自動化，從塔臺，樣品臺，到光學系統光闌控制，全部軟件可編程；配合ZYGO腳本編程工具，Nexview? NX2可以實現完全自動化測試。
