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產(chǎn)品詳情
  • 產(chǎn)品名稱:NexView Optical Profiler

  • 產(chǎn)品型號(hào):NexView Optical Profiler3D光學(xué)表面輪廓儀
  • 產(chǎn)品廠商:美國ZYGO
  • 產(chǎn)品文檔:
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簡(jiǎn)單介紹:
3D光學(xué)表面輪廓儀NexView Optical Profile,無論視場(chǎng)范圍多大均可以達(dá)到亞納米級(jí)的測(cè)量精度。可以測(cè)量平面度、粗糙度、大的臺(tái)階、薄膜和陡坡等
詳情介紹:

Nexview?3D光學(xué)表面輪廓儀

NexView 3D光學(xué)表面輪廓儀擅長測(cè)量各種表面的微觀形貌,從超光滑到非常粗糙的表面,都能準(zhǔn)確計(jì)量。無論視場(chǎng)范圍多大均可以達(dá)到亞納米級(jí)的測(cè)量精度。可以測(cè)量平面度、粗糙度、大的臺(tái)階、薄膜和陡坡等。測(cè)試范圍從小于1納米到20000微米。


SiC鏡面:可以很清晰的看到結(jié)晶特征和拋光痕跡


Mx軟件界面(點(diǎn)擊圖像放大)


120度的錐角


單點(diǎn)金剛石切削面


自動(dòng)200mm集成測(cè)量臺(tái)

? 超強(qiáng)的測(cè)試范圍
可以測(cè)試所有類型的表面,從粗糙到超光滑,包括薄膜、陡坡、和大臺(tái)階。

? 計(jì)量能力體現(xiàn)
優(yōu)越的精度和重復(fù)性能夠滿足*嚴(yán)苛的測(cè)試需求

? 抗震技術(shù)
幾乎可以在任何環(huán)境下都能正常工作

? ISO 25178 表面測(cè)量國際標(biāo)準(zhǔn)

? 全新版面的工作流程軟件
功能更強(qiáng)大,操作更簡(jiǎn)便易學(xué)

? 流線型設(shè)計(jì)
無需手動(dòng)操作,全自動(dòng)化控制

需要的唯壹的輪廓儀

你不再需要根據(jù)你要測(cè)量的表面類型來選擇一臺(tái)輪廓儀。NexView輪廓儀幾乎可以測(cè)量任何表面的形貌,從亞埃級(jí)的超光滑表面,到高達(dá)85度的大坡度機(jī)械件,全部采用3D、非接觸式測(cè)量,克服了其它測(cè)量技術(shù)(探針式、共聚焦、聚焦掃描)的缺點(diǎn),提供了*好的計(jì)量檢測(cè)方案

全新的分析和控制軟件

NexView輪廓儀采用全新的Mx(TM)軟件強(qiáng)化了整個(gè)系統(tǒng)的控制和分析,包括豐富的交互式3D圖像,定量的形貌信息,直觀的測(cè)量導(dǎo)航,以及嵌入的包含數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì)、控制圖表和通過/失敗限制的SPC。

? 交互式3D – 變倍,全景,旋轉(zhuǎn),以及實(shí)時(shí)的更新結(jié)果。

? 靈活的分析工具 – 包含大量的定量結(jié)果、數(shù)據(jù)視圖、濾波。

? 上等的分析工具 – 提供了用于數(shù)據(jù)調(diào)查、操作和測(cè)量對(duì)比的自由布局區(qū)域。

? 直觀的用戶界面 – 流程化的設(shè)計(jì)使軟件簡(jiǎn)單易學(xué),便于操作。

? 浮動(dòng)的工具條 – 可自由設(shè)定,滿足您的工作流程。

針對(duì)特殊測(cè)試的需求,軟件有專門的應(yīng)用模塊,比如透明薄膜的測(cè)量,以及2D可視化分析等,對(duì)于有需要的使用者,這些功能非常有幫助。

自動(dòng)化操作

NexView輪廓儀是無需手動(dòng)操作的,全部自動(dòng)電動(dòng)控制,因此能夠利用軟件進(jìn)行多次序列化自動(dòng)測(cè)量,可以對(duì)裝夾好的樣品進(jìn)行程序化的自動(dòng)測(cè)量,及對(duì)大樣品的快速拼接。

整潔,流線型,設(shè)計(jì)感

Nexview系列輪廓儀具有清晰的視野,開放的工作區(qū)域,使得測(cè)量安裝和更換樣品變得簡(jiǎn)單而快速。它的全新、自動(dòng)化,集成的200mm測(cè)量臺(tái)是整潔、有效的工業(yè)設(shè)計(jì)的縮影。它的大負(fù)載的可正負(fù)4度傾斜的樣品臺(tái),使測(cè)量時(shí)的調(diào)校變得簡(jiǎn)單,即使是對(duì)于毫無特征的表面也



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